Эксимер (англ. exited - возбужденная, dimer - двойная молекула) -лазер, в котором активной средой, генерирующей излучение, служит двойная молекула, получаемая при смеси газов. В эксимерных лазерах активной средой является смесь инертного газа (аргон, криптон, ксенон) с галогеноидами (галогенами) (фтор, хлор).