Длина волны - это расстояние, которое проходит электромагнитная волна за один период колебаний. Электромагнитный спектр по длине волны подразделяется на радиоволны, инфракрасное, видимое, ультрафиолетовое, рентгеновское и? - излучение. Эксимерный лазер имеет длину волны 193 нм (0,193 мкм) и относится к ультрафиолетовой части спектра.